[Small Diffusion Pumps] VHS-4 확산 펌프
VHS-4 확산 펌프는 최대 750L/s의 펌핑 속도를 가지고 있으며, ASA 또는 ISO 플랜지, 표준 또는 확장 콜드캡과 함께 다양한 전압으로 주문할 수 있습니다. 모든 VHS 펌프에는 펌프 유체의 지속적인 모니터링과 간편한 유지보수를 위해 스테인리스 강 펌프 바디와 투시창/주입 및 배출 어셈블리가 있습니다. 특허 받은 Bulge Contour가 가스 포집량을 늘리고 낮은 압력을 유지합니다. 지느러미 형태의 보일러로 표면적을 증가시켜 펌프 유체의 수명을 연장합니다. 이 Vapor Jet 펌프는 광학 렌즈, 전자 장치 및 보호 필름층을 위한 진공로, 열처리, 금속 증착 및 코팅 공정과 같은 고진공 및 산업 응용 분야에 적합합니다.
● 특허 받은 Bulge Contour가 가스 포집량 증대 ● 유체 레벨 투시창을 통해 항상 펌프 유체 상태를 빠르게 확인 가능 ● 주입 및 배출 어셈블리를 통해 간편하게 펌프 유체 유지보수 ● 분사 제트가 펌핑 유체를 정제하여 청결한 작동 환경 제공 ● 높은 포어 압력 허용치 ● 모든 열 과부하로부터 완전한 열 보호 제공 ● 스테인리스 강 펌프 바디, 플랜지 및 제트 ● 지느러미 형태의 보일러로 표면적을 증가시켜 펌핑유의 수명을 연장 ● 포어라인 배플을 이용해 유체가 backing 시스템으로 손실하는 것을 방지 ● 빠른 냉각 코일이 표준 사양
# | 제목 | 내용 |
---|---|---|
1 | Water Connections | 1/8인치 FPT |
2 | 권장 backing 펌프 | ≥ 10cfm(17m3/hr) |
3 | 냉각 시간 | 10 min |
4 | 수냉 - 온도 요구사항 | 60-80 °F 15-26 °C |
5 | 수냉 흐름 요구사항 | 0.15gpm 30L/hr |
6 | 역류 유속 | 5 x 10-4 mg/㎠/min |
7 | 예열 시간 | 10 min |
8 | 유체 유형 | Oil |
9 | 유체 적재량 | 300 CC |
10 | 입력 전압 | 120, 208, 240V |
# | 제목 | 내용 |
---|---|---|
11 | 작동 범위 | 2 x 10-3~<5 x 10-9 Torr 2.7 x 10-3~<6.5 x 10-9 mbar |
12 | 전기 요구사항 | 1ph 50/60Hz 120/208/240V |
13 | 최대 처리량 | 1.5T-L/s(2.0mbar-L/s) |
14 | 최대 포어 압력 - Full 로드 | 0.55 Torr 0.73 mbar |
15 | 최대 포어 압력 - 로딩 없음 | 0.65 Torr 0.86 mbar |
16 | 펌프 무게 | 55 lbs 25 kg |
17 | 펌프 전력 | 1450 W |
18 | 펌핑 속도 - Air | 750 L/s |
19 | 펌핑 속도 - He/H2 | 940 L/s |
20 | 펌핑 속도 - 공기, AVS 4.1(1963) | 1200 L/s |
PDF #1 파일 : 카탈로그_05_Diffusion_Pumps.pdf (4.3M)
최종수정일 : 2022-01-20 06:27:33
PDF #2 파일 : 사용자 설명서_6999-01-018B Inline VHS SightGlass Cooling Kit Field Replacement Manual[1].pdf (180.0K)
최종수정일 : 2022-01-20 06:27:33
PDF #3 파일 : 사용자 설명서_6999-03-130B Low Profile Water Cooled Baffle Instruction Manual.pdf (277.6K)
최종수정일 : 2022-01-20 06:27:33
PDF #4 파일 : 사용자 설명서_VHS-4, VHS-6 and VHS-250 Diffusion Pumps.pdf (7.7M)
최종수정일 : 2022-01-20 06:27:33
관리자
2022.01.20 06:27
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