[Turbo Pumps] TwisTorr 84 FS 터보 펌프
TwisTorr 84 FS는 경질 가스를 위해 극도로 낮은 분압을 제공하는 소형 80L/s 터보 펌프입니다. 터보 기술과 혁신적인 TwisTorr 드래그 스테이지 간의 시너지를 통해 높은 압축비를 구현할 수 있으므로 연구 개발, UHV 시스템 및 핵 연구에 이상적입니다. Agilent Floating Suspension(AFS)이 적용되어 낮은 진동 및 소음 레벨을 보장하므로 민감한 계측 및 작업 환경에도 사용할 수 있습니다. 독특한 Cantilever Suspension 덕택에 응용 분야에 자기 간섭 및 탄화수소 오염이 발생하지 않습니다.
● 경질 가스에 대한 초고도 압축비를 제공하며 탄화수소 불포함 설계를 통해 낮은 기본 압력 가능 ● 원격 컨트롤러로 100m 떨어진 위치에서 작동 가능 ● 포어라인 허용 오차가 높아 더 작은 포어라인 펌프가 가능하므로 비용 및 설치 공간 감소 ● 민감한 기기 및 작업 환경과의 호환성을 위한 낮은 진동 및 소음 레벨(41dBA) ● 베어링 유지보수가 필요없어 운영 비용 제로(0) ● 컴팩트한 크기와 위치에 구애받지 않는 설치로 손쉽게 통합 가능 ● 시스템 압력 모니터링을 위한 게이지 판독 기능 ● 이동 중 펌프 작동을 위해 Vacuum Link 앱을 통해 무선으로 제어 가능 ● 전자 장치가 내장되지 않은 방사선 및 자기장 방지 설계로 까다로운 자기장 및 방사선 환경에서 작동 가능 ● 전자기 방출량이 낮아 적용 프로세스에서 간섭이 발생하지 않음
# | 제목 | 내용 |
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1 | 공칭 회전 속도 | 81KRPM |
2 | 권장 포어펌프 용량 | 3 m3/h |
3 | 기본 압력 | <5 x 10-10 mbar |
4 | 노이즈 수준 | 40 dB(A) |
5 | 무게 | 2.05 kg |
6 | 시작 시간 | < 2분 |
7 | 압축비 H2 | 5 x 104 |
8 | 작동 위치 | Any |
9 | 주변 작동 온도 / 저장 온도 | +5 to +35 °C -40~+70 °C |
10 | 최대 가스 처리량 - AR, 수냉 / N2, 수냉 | 70SCCM 100SCCM |
# | 제목 | 내용 |
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11 | 펌핑 속도 - Ar / H2 / He / N2 | 66 L/s 53 L/s 63 L/s 67 L/s |
12 | 포어라인 허용 압력 - N2 | 14 mba |
13 | 표준 및 인증 | CE, C-CSA-US, 2011/65/UE에 따른 RoHS 준수 |
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PDF #1 파일 : 브로셔_5991-9330EN_TwisTorr_Family_brochure.pdf (7.2M)
최종수정일 : 2022-01-19 08:02:49
PDF #2 파일 : 브로셔_5991-9330KO_TwisTorr_Family_brochure.pdf (2.6M)
최종수정일 : 2022-01-19 08:02:49
PDF #3 파일 : 사용자 설명서_Copy of Turbomolecular Pump Installation and Flange Fastening Handbook Quick Guide.pdf (107.1K)
최종수정일 : 2022-01-19 08:02:49
PDF #4 파일 : 사용자 설명서_TwisTorr 84 FS.pdf (7.6M)
최종수정일 : 2022-01-19 08:02:49
관리자
2022.01.19 08:02
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