[Non-Evaporable Getter NEG Combination Ion Pumps] Ion CombiNEG 40-400 펌프
애질런트 Ion CombiNEG 40-400은 40L/s VacIon 펌프 내부에 고용량 D400-2 비증발형 카트리지를 통합합니다. NEG 카트리지는 활성 가스에 대한 펌핑 속도를 높이고(최대 400L/s 수소), StarCell 이온 펌프는 아르곤을 비롯한 기타 잔존 비활성기체에 대한 펌핑 속도를 높입니다. 자기장 및 vacuum firing 프로세스를 최적화해 성능을 더욱더 개선하며, 낮은 압력에서 탈기를 최소화합니다. 내부 차폐막이 NEG 작동 수명을 보존합니다. 많은 양의 비활성기체를 처리하면서도 메탄, 아르곤, 헬륨에 최고의 펌핑 속도와 용량을 제공하는 유일한 펌프입니다. 초고 또는 고진공 상태에서 펌핑 속도를 높여야 하는 까다로운 응용 분야에 적합합니다.
● StarCell 이온 펌프 요소는 비활성기체에 대한 펌핑 속도가 빠르고, NEG 카트리지는 반응 기체에 대한 펌핑 속도가 빠르기 때문에 펌핑 속도를 함께 높여 UHV/XHV 펌프 다운 속도를 단축합니다 ● 매우 콤팩트한 설계를 자랑하는 소결 NEG 카트리지는 저품질 압축형 파우더 NEG 카트리지에 대한 우수한 솔루션으로 파우더가 시스템으로 방출될 위험을 없앱니다. ● ConFlat 4.5인치 고정형 플랜지 및 NEG 카트리지용 ConFlat 2.75인치 플랜지로 이용 가능 ● 방향에 따른 피드스루 선택으로 유연성 극대화 ● 움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능 ● 낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독 ● 낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화 ● >400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
# | 제목 | 내용 |
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1 | 무게(펌프만) | 17 kg 37 lbs |
2 | 요소 유형 | Star Cell |
3 | 작동 수명 | 80,000시간 |
4 | 최대 베이킹 온도 | 350 °C |
5 | 최대 시작 압력 | ≤ 5 x 10-2mbar |
6 | 피드스루 스타일 | Fisher |
7 | 히터 전압 | 100-120/200-240 V |
8 | 히터 전원 | 250 W |
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PDF #1 파일 : 사용자 설명서_ION COMBINEG 40-400.pdf (2.4M)
최종수정일 : 2022-01-16 15:55:03
관리자
2022.01.16 15:55
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