[Titanium Sublimation Combination Ion Pumps TSP] TSP 차단 실드 및 극저온패널
TSP 차단 실드 및 극저온패널은 TSP 카트리지 소스와 함께 사용하도록 설계되었 있습니다. 두 제품 모두 스퍼터링 티타늄을 위한 넓은 표면적을 제공합니다. 극저온패널(Cryoshroud)은 HV/XHV에서 사용하는 경우 water cooling, 액체 질소 또는 UHV/XHV에서 사용하는 경우 비냉각식으로 사용하도록 설계되었습니다. 냉각이 실용적이지 않거나 바람직하지 않은 경우, 차단 실드는 비냉각 극저온패널에 비해 펌핑 속도가 더 빠릅니다. 차단 실드 또는 극저온패널을 TSP 카트리지와 함께 사용하여 활성 가스에 대한 펌핑 속도를 높이고 UHV/XHV에 더 빠르게 도달합니다. 차단 실드는 반응성 가스에 대해 높은 펌핑 속도를 제공합니다. 매우 낮은 압력에서 부하가 가장 큰 잔존 기체가 수소입니다. Cryoshroud를 사용해 승화 티타늄의 온도를 더 낮추면 수소가 더 효과적으로 펌핑됩니다.
● 극저온패널 또는 차단 실드는 TSP의 승화 티타늄에 제공하는 표면적이 더 넓고 원치 않는 코팅으로부터 진공 시스템을 보호해 줌 ● 극저온패널이 액체 질소 냉각 시 성능 극대화 ● Water cooling, 액체 질소로 작동하는 TSP 극저온패널 ● 차단 실드는 냉각이 필요하지 않음 ● 더블엔드 또는 사이드 포트 이온 펌프에 장착 가능 ● 외경 8인치인 ConFlat 플랜지에 장착하며, TSP 카트리지 장착을 위한 2.75인치 ConFlat 플랜지 포함 ● 11인치 깊이/간격의 모든 8인치(NW 150) CFF 포트에 독립적으로 설치 가능 ● TSP 카트리지는 미포함
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PDF #1 파일 : 사용자 설명서_TSP_Cryopanel_User_Manual.pdf (2.0M)
최종수정일 : 2022-01-16 15:50:01
관리자
2022.01.16 15:50
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