부속 이온 펌프라고도 불리는 애질런트 초소형 VacIon 펌프는 다이오드 또는 비활성 다이오드 구성으로 제공되며, 0.4L/s의 펌핑 속도를 제공합니다. 
이러한 초소형 이온 펌프는 가볍고, 매우 낮은 자기장을 방출할 뿐만 아니라 최대 베이크 온도가 400°C에 이릅니다.

1950년대 말에 애질런트(Varian)에서 이온 펌프를 발명한 이래로 애질런트 초소형 펌프가 방위, 우주, 전기통신, 연구 및 의료기기와 같은 다양한 응용 분야를
아우르는 산업 분야에서 선두를 달리고 있습니다. 초고 또는 고진공 압력에서 전자관의 작동 수명을 보존하는 데 사용되는 경우가 많습니다.

● 실장치에서 초고 진공 상태를 유지하기 위해 일반적으로 사용하는 0.4L/s 부속 펌프
● 낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
● 다양한 고전압 피드스루, 바디 기하학 및 펌핑 셀 배치를 통한 사용자 맞춤형 제품 제작으로 요구 충족
● 낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
● >400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
● 특정 요구 사항을 추가할 수 있는 특별한 시험 절차